[23p-P07-1~7] 15.3 III-V-group epitaxial crystals, Fundamentals of epitaxy

[23p-P07-4] Characterization of Micro-Twins in GaInSb HEMT Structures Using Pole Figures by X-Ray Diffraction

〇Reo Ebihara¹, Munemasa Kunisawa¹, Koharu Hatori¹, Rikuto Yoshida¹, Issei Watanabe^2,1, Ryuto Machida², Yoshimi Yamashita², Shinsuke Hara², Akifumi Kasamatsu², Akira Endoh¹, Hiroki Fujishiro¹ (1.Tokyo Univ. of Science, 2.NICT)

Keywords:HEMT

本研究では貫通転位と同じ結晶欠陥の一種である双晶の{111}面のピーク評価をX線回折(XRD)極点図測定を用いて行い、その抑制方法について検討した。