[23p-P09-1~10] 12.4 有機EL・トランジスタ

[23p-P09-4] 自己組織化分子膜によるhigh-k高分子絶縁膜の表面改質

〇栗原 一徳¹、武居 淳¹、吉田 学¹ (1.産総研)

キーワード：有機トランジスタ、表面改質、自己組織化分子

有機トランジスタはウエアラブルエレクトロニクスなどへの応用が近年盛んである。携帯性や安全性を考慮すると低電圧駆動は重要な課題となっている。近年では薄膜化した高分子材料による数ボルト駆動のTFTが報告されているが、スピンコートが必須であったり大面積化の点でいまだ課題が残っていた。本研究では塗布型製膜による低電圧化に有効な高誘電率(high-k)材料であるp(VDF)系の高分子の表面エネルギーを、半導体製膜に適したものに改質することを目的とし、アルキル系自己組織化分子により改質できたためこれを報告する。