[23p-P10-1~22] 12.5 Organic solar cells

[23p-P10-8] Effect of hydrogen flow rate during SiN_x deposition on perovskite layers

〇Wenbo Cao¹, Yuuka Sumai², HUYNH Thi Cam Tu¹, Md Shahiduzzaman², Tetsuya Taima², Keisuke Ohdaira¹ (1.JAIST, 2.Kanazawa Univ)

Keywords:Perovskite

大気下でのMAPbI₃の劣化抑止を目的としたCat-CVD SiN_xガスバリア膜の形成に関し、膜堆積時のH₂流量の影響を調査した。µ-PCDでの測定結果において、SiN_x膜堆積後にマイクロ波の減衰が速くなっており、SiN_x堆積によるキャリア寿命の低減が示唆される。また、H₂流量が多いほど少数キャリア寿命の低減も大きい傾向を確認した。このことは、H₂あるいはH₂の分解により生じたHラジカルがMAPbI₃に影響を与えることを示している。