[23p-P10-1~22] 12.5 有機太陽電池

[23p-P10-8] ペロブスカイト層へのSiN_x堆積時の水素流量の影響

〇曹 文博¹、相撲 優花²、HUYNH Thi Cam Tu¹、Md Shahiduzzaman²、當摩 哲也²、大平 圭介¹ (1.北陸先端大、2.金沢大)

キーワード：ペロブスカイト

大気下でのMAPbI₃の劣化抑止を目的としたCat-CVD SiN_xガスバリア膜の形成に関し、膜堆積時のH₂流量の影響を調査した。µ-PCDでの測定結果において、SiN_x膜堆積後にマイクロ波の減衰が速くなっており、SiN_x堆積によるキャリア寿命の低減が示唆される。また、H₂流量が多いほど少数キャリア寿命の低減も大きい傾向を確認した。このことは、H₂あるいはH₂の分解により生じたHラジカルがMAPbI₃に影響を与えることを示している。