[23p-P12-1~14] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[23p-P12-13] 低抵抗ZnO透明導電膜向けZn-O₂混合プラズマ中のZnO分子のOES観察

〇佐藤 直幸¹、キュゾビック ティホミール¹、米村 海翔¹、藤田 黎輔¹ (1.茨城大院理工)

キーワード：透明導電膜、酸化亜鉛、酸化亜鉛分子

環境透明導電膜（TCF）の低抵抗化に向けて，アンドープZnO材料からのプラズマ合成を行っている．これまで，最小のシート抵抗R_s = 1.7 Ω/□を得ている．OES観察を通して，ZnO分子の同定を行っており，更なる低抵抗化には，電子温度が低下する程，多量のZnが蒸発している低気圧Zn-O₂混合プラズマにおいて，ZnO分子の発生とTCF薄膜への混入を抑制することが重要と考えている．