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[24a-D214-3] 2THz帯導波管型超伝導ホットエレクトロンボロメータミキサの作製(3)
キーワード:ホットエレクトロンボロメータミキサ、導波管、テラヘルツ
超伝導ホットエレクトロンボロメータミキサ(HEBM)は,2 THz以上での低雑音動作が期待されているヘテロダインミキサ素子である.我々は磁性材料(Ni)を用いた新しいHEBM構造(Ni-HEBM)を提案しており, 今回,2 THz帯導波管型Ni-HEBM (WG-HEBM)の歩留まりの向上と特性改善を行った.作製したWG-HEBMは,2 THzにおいて約830 K(DSB)の低雑音特性と約4 GHzのIF帯域幅を示した.