[24a-D316-1~9] CS.7 8.3 プラズマナノテクノロジー、9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート、13.6 ナノ構造・量子現象・ナノ量子デバイス、15.3 III-V族エピタキシャル結晶・エピタキシーの基礎のコードシェアセッション

[24a-D316-5] CNP層を挿入したa-C:H膜の応力低減に対するCNP被膜率の効果

〇吉川 大智¹、小野 晋次郎¹、黄 成和¹、奥村 賢直¹、鎌滝 晋礼¹、山下 尚人¹、板垣 奈穂¹、古閑 一憲^1,2、白谷 正治¹、鷹林 将³、呉 準席⁴、中谷 達行⁵ (1.九州大、2.自然科学研究機構、3.有明高専、4.大阪市立大、5.岡山理科大)

キーワード：カーボンナノ粒子、膜応力、DLC