[24a-D316-1~9] CS.7 8.3 プラズマナノテクノロジー、9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート、13.6 ナノ構造・量子現象・ナノ量子デバイス、15.3 III-V族エピタキシャル結晶・エピタキシーの基礎のコードシェアセッション

[24a-D316-6] マイクロプラズマを活用した高結晶性ＣＮＴの高密度合成

〇辻 享志¹、陳 国海¹、山田 真保¹、何 金萍¹、清水 禎樹¹、榊田 創¹、畠 賢治¹、フタバ ドン¹、桜井 俊介¹ (1.産総研)

キーワード：カーボンナノチューブ、触媒粒子、マイクロプラズマ

本研究では、マイクロプラズマによる粒子形成技術を活用し、高結晶性CNTの高密度成長が可能な多段階反応炉を開発した。本反応炉ではマイクロプラズマで形成された触媒粒子と炭素原料とを数ミリ秒という極めて短時間内に混合できることから、生成した触媒粒子の凝集を抑制し、高密度の触媒粒子からCNTを成長させることができる。