[24a-E101-1~7] 7.1 X線技術

[24a-E101-1] 1～2 keV領域高spectral flux軟X線ラミナー型多層膜回折格子の設計

〇小池 雅人^1,2,3、羽多野 忠^2,4、ピロジコフ アレキサンダー¹、大上 裕紀⁵、林 信和⁵、寺内 正己² (1.量研量子ビーム、2.東北大多元研、3.大阪市大院工、4.東北大SRIS、5.島津デバイス)

キーワード：回折格子、多層膜、分光光束

1～2 keV領域を測定対象とする定入射角分光器用の軟X線多層膜回折格子の設計を行った。回折格子の溝構造、多層膜構造、及び入射角を回折効率と分析感度と相関があり回折効率と入射角の余弦の積で表されるspectral fluxを評価関数として最適化した。多層膜構造は非周期型である。発表では回折格子の回折効率とspectral fluxの他、分光器としての結像特性、分解能について述べる。