[24a-E101-1~7] 7.1 X線技術

[24a-E101-3] 1-5 keV 軟Ｘ線高出力分光器のための多層膜回折格子の試作

〇羽多野 忠^1,2、今園 孝志³、江島 丈雄^1,2 (1.東北大SRIS、2.東北大多元研、3.量研量子ビーム)

キーワード：回折格子、多層膜、テンダーＸ線

エネルギー 1-5 keV の領域で等周期多層膜のブラッグ条件を満たして高出力を発揮する多層膜回折格子分光器の開発を目指して、可変偏角型分光器の設計を行なっている。刻線密度 3200 本/mm のラミナー型回折格子基板に W (1.6 nm)/B₄C (2.4 nm) の 40 周期多層膜を成膜して Photon Factory の BL-11D、11B、20B で回折効率を測定した。