[24a-E101-1~7] 7.1 X線技術

[24a-E101-6] EUV顕微対物ミラーの高精度波面計測法の開発(2)

〇津久井 雄祐¹、脇 俊太郎¹、陳 軍¹、豊田 光紀¹ (1.東京工芸大院工)

キーワード：EUV

我々は、EUV顕微対物ミラーで生じる波面収差を0.1nmオーダーの精度で測定可能な点回折干渉計の開発を行っている。干渉計で十分な光量を得るには、参照光と検査光が被検ミラーの射出瞳中心を通過すると同時に、そのビーム径が射出瞳径と一致する必要がある。これらの要件を満たす光学設計を光学CAD(OpTaliX)によって行い、設置要件を満足させる照明光学系を試作した。本講演では、それらの結果について報告する。