[24a-E102-1~10] 17.3 層状物質

[24a-E102-4] ミストCVD法によるMoS2の作製と膜特性

〇朝子 幹太¹、福江 雅¹、安岡 龍哉¹、刘 丽^1,2、川原村 敏幸^1,2 (1.高知工大院シス工、2.高知工大総研)

キーワード：二硫化モリブデン、層状物質、ミスト化学気相成長