[24a-E105-1~10] 12.7 医用工学・バイオチップ

△ [24a-E105-3] 横型金属酸化物ナノ薄膜チャネル構造を用いたクロスバー集積化分子センサアレイ

〇本田 陽翔¹、高橋 綱己^1,2、長田 紳太郎¹、椎木 陽介³、細見 拓郎^1,2、田中 航¹、長島 一樹^1,2、石黒 仁揮³、柳田 剛^1,4 (1.東大工、2.JSTさきがけ、3.慶大理工、4.九大総理工)

キーワード：集積化センサアレイ、分子認識、酸化物半導体

分子センサを集積化したセンサアレイによる分子群識別技術が注目されている．分子識別のための感応材料やセンサ感度向上に関する研究が盛んな一方，高密度集積化に伴うセンサ間の配線抵抗の影響や，長期間安定的に動作する集積化センサアレイ設計は重要な未解決課題として残されている．この課題の解決に向けて，横型金属酸化物ナノ薄膜チャネル構造と導電性酸化物電極を有するクロスバー集積化分子センサアレイを提案する.