[24a-E106-1~11] 3.7 レーザープロセシング

[24a-E106-1] ArFエキシマレーザーによるシリコーンゴム上へのマイクロカップ構造形成 (2)

〇岩崎 楓¹、吉田 剛¹、大越 昌幸¹ (1.防大電気電子)

キーワード：真空紫外レーザー、表面改質、シリコーンゴム