[24a-E106-1~11] 3.7 Laser processing

[24a-E106-6] 3D microfluidics fabricated in thermoset polymer using laser-induced bubble

〇(B)Yoichi Toba¹, Takahashi Ryohei¹, Yamada Sohei¹, Hanada Yasutaka¹ (1.Hirosaki Univ.)

Keywords:laser-induced bubble, thermoset polymer, microfluidic device

我々の研究室では、レーザー誘起気泡を用いた熱硬化性樹脂PDMSの2・3D微細加工技術を開発した。本手法は、高速かつ高効率にPDMS基板表面もしくは内部に気泡形状を反映した流体構造を作製可能にするが、加工開始位置に形成される気泡が、レーザー走査を行う最中に徐々に膨張することを確認した。よって、本発表では、気泡が膨張する詳細について調査し、それを抑制した高品質加工が可能かどうか検討したので報告する。