[24a-E201-1~11] Semiconductors Pioneer Carbon Neutral Future

[24a-E201-5] Contribution of Exposure Equipment to a Carbon-Neutral Society and the Delights of Equipment Development

〇NORITOSHI SAKAMOTO¹ (1.CANON INC.)

Keywords:semiconductor, exposure equipment

半導体は様々な場面で社会を支えています。キヤノンは半導体露光装置を通じてもカーボンニュートラル社会の実現に貢献しております。
本稿では、半導体製造プロセスにおける半導体露光装置の役割、多様化する半導体ニーズ、トレンドに応えるべく、弊社が取り組んできた課題、解決策をご紹介すると共に、私自身の仕事についての「取り組み」や「やりがい」についてご紹介致します。