[24a-E301-1~10] 3.11 フォトニック構造・現象

△ [24a-E301-1] CirDレーザに向けたAlO_x酸化幅の新評価方法

〇(M1)左 如氷¹、宮崎 駿輔¹、木下 諒星¹、森藤 正人¹、梶井 博武¹、丸田 章博¹、近藤 正彦¹ (1.阪大院工)

キーワード：フォトニック結晶、酸化幅

我々は，2次元フォトニック結晶(PhC)円形欠陥(CirD)共振器を有する電流注入型レーザの研究・開発を行っている．AlGaAsを絶縁体であるAlO_xに水蒸気酸化させて上下クラッド層とし，共振器中央のAlGaAsを電流注入funnelとする．高Q値を得るため、酸化幅を一定に確保する必要がある．しかし，今までの測定方法は精確ではなかった．今回は重ね描画を用いてより精確な測定方法を得た．