[24a-E303-1~11] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

[24a-E303-11] Metal-Insulator-Metalメタマテリアル構造を応用したナノギャップ計測に向けたSpin-on-Glass膜封止型ナノドットアレイの作製

〇岡谷 泰佑¹、金森 義明¹ (1.東北大工)

キーワード：メタマテリアル、金属/誘電体/金属、ナノギャップ

接触･摩擦現象においては接触面内に存在する空気や潤滑油からなるナノスケールのギャップがそのふるまいに関わり，計測が求められる。本研究ではMetal-Insulator-Metalメタマテリアル構造を応用したナノギャップ計測法の実現に向けて，金属ナノドットアレイ上にSpin-on-Glass膜を形成することでガラスプレート内に封止されたナノドットアレイの作製を試みた。