[24a-E303-1~11] 3.12 Nanoscale optical science and near-field optics

△ [24a-E303-7] Arrangement of Alvarez Metalens for Compound-eye Varifocal Imaging

〇(B)Katsuma Aoki¹, Hyo Adegawa¹, Satoshi Ikezawa¹, Kentaro Iwami¹ (1.Tokyo U. Agri. Tech.)

Keywords:metalens, compound-eye, Varifocal lens

本研究では、光学系の大幅な薄型化が可能な複眼Alvaerzメタレンズの製作を目的としている。現時点で、アモルファスシリコンを用いた複眼Alvaerzメタレンズを製作したので報告する。本研究では、アモルファスシリコン柱状メタ原子を利用し、Alvarezレンズの位相分布を満たすように配列し、電子線リソグラフィー、リフトオフおよび反応性イオンエッチングにより製作した。当日は、光学特性の評価結果についても報告する。