[24a-E303-1~11] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

△ [24a-E303-7] 複眼可変焦点イメージングのための Alvarez メタレンズの配列化

〇(B)青木 活真¹、阿出川 彪¹、池沢 聡¹、岩見 健太郎¹ (1.農工大工)

キーワード：メタレンズ、複眼、可変焦点レンズ

本研究では、光学系の大幅な薄型化が可能な複眼Alvaerzメタレンズの製作を目的としている。現時点で、アモルファスシリコンを用いた複眼Alvaerzメタレンズを製作したので報告する。本研究では、アモルファスシリコン柱状メタ原子を利用し、Alvarezレンズの位相分布を満たすように配列し、電子線リソグラフィー、リフトオフおよび反応性イオンエッチングにより製作した。当日は、光学特性の評価結果についても報告する。