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△ [24a-E303-7] 複眼可変焦点イメージングのための Alvarez メタレンズの配列化
キーワード:メタレンズ、複眼、可変焦点レンズ
本研究では、光学系の大幅な薄型化が可能な複眼Alvaerzメタレンズの製作を目的としている。現時点で、アモルファスシリコンを用いた複眼Alvaerzメタレンズを製作したので報告する。本研究では、アモルファスシリコン柱状メタ原子を利用し、Alvarezレンズの位相分布を満たすように配列し、電子線リソグラフィー、リフトオフおよび反応性イオンエッチングにより製作した。当日は、光学特性の評価結果についても報告する。