[24a-E303-1~11] 3.12 Nanoscale optical science and near-field optics

△ [24a-E303-9] Deep Ultraviolet Absorber using Ultra-Thin TiO₂ Film with High Refractive Index

〇Yuusuke Takashima^1,2, Kentaro Nagamatsu^1,2, Masanobu Haraguchi^1,2, Yoshiki Naoi^1,2 (1.Tokushima Univ., 2.pLED, Tokushima Univ.)

Keywords:Deep Ultraviolet, Light Absorber, Thin film

本発表では、AlN/TiO2/Al多層膜の多重干渉を利用し、わずか17nmのTiO2薄膜によって97.3%の吸収率を実験的に示した。