[24a-E303-1~11] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

△ [24a-E303-9] 高屈折率を有するTiO₂極薄膜を用いた深紫外光吸収体

〇高島 祐介^1,2、永松 謙太郎^1,2、原口 雅宣^1,2、直井 美貴^1,2 (1.徳島大、2.徳島大pLED)

キーワード：深紫外、光吸収体、薄膜

本発表では、AlN/TiO2/Al多層膜の多重干渉を利用し、わずか17nmのTiO2薄膜によって97.3%の吸収率を実験的に示した。