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[24a-F407-5] 多層膜構造における表面フォノンポラリトンの伝播モード解析
キーワード:表面フォノンポラリトン、半導体、ナノスケール熱輸送
表面フォノンポラリトン(SPhP)とは、吸収のある誘電体や化合物半導体の界面に局在して面内方向に伝搬する表面波である。本研究では、吸収のないSi材料を、誘電体であるSiO2薄膜で挟んだ3層構造におけるSPhPの伝播を調べた。誘電体表面に局在すると考えられていたSPhPだが、3層構造においては、主に吸収のないSi層を伝播することが分かった。