[24a-F408-1~8] 9.2 Nanoparticles, Nanowires and Nanosheets

△ [24a-F408-6] Development of CH₄ sensors with IrO_x nanosheets

〇(M1)Tatsuki Umeda¹, Takahisa Tanaka¹, Ken Uchida¹ (1.The Univ. of Tokyo)

Keywords:Ir oxide, gas sensor, nanosheet

CH₄はCO₂に次いで地球温暖化に与える影響が大きい温室効果ガスであり，その排出量をモニタリングする技術の開発が不可欠である．そこで我々はIrO_xナノシートを用いて200℃で50 ppmのCH₄を検知するセンサを創出した．さらにスパッタ時のO₂流量比を増やし，IrO_xナノシートの密度を小さくすることでCH₄に対するセンサ応答が大きくなることを確認した．