[24a-P01-1~71] 2 Ionizing Radiation(Poster)

[24a-P01-64] Investigation of annealing effects for CdTe pn diodes fabricated by laser doping method

〇Amane Ohno¹, Nishizawa Junichi², Nakagawa Hisaya², Takagi Katsuyuki², Tabata Kento², Ito Tetsu², Aoki Toru^1,2 (1.Shizuoka Univ., 2.RIE of Shizuoka Univ.)

Keywords:radiation detector, CdTe, annealing effect

従来困難であるとされてきたCdTeに対する不純物ドーピングだが，昨今開発されたレーザードーピング法によって課題は克服されつつある．しかしCdTeは加熱処理により悪影響があることが知られていることから，アニール処理は不向きであると考えられてきた．一方私たちはpn接合型CdTeダイオードに対し加熱処理を施しても特性の劣化が見られなかったことから，これに対し加熱処理を施し，各種測定を行うことでアニール効果について検討した．