[24p-D113-1~17] 1.5 計測技術・計測標準

[24p-D113-7] [分科内招待講演] 高純度ガスに紛れ込むやっかいもの ”水” ーガス中微量水分を高精度に測るための研究ー

〇天野 みなみ¹ (1.産総研)

キーワード：ガス分析、微量水分、湿度

高純度ガスが必要とされる半導体等の製造分野では、水は非常に厄介な不純物の1つとして知られている。本講演では、これまで行なってきた多種ガス中微量水分標準の研究を紹介する中で、モル分率1 ppb以下の乾燥ガス中残留水分や吸着/脱離水分の評価について述べる。近年、欧州諸国でも半導体材料ガス中微量水分の計測・標準に関するプロジェクトが始まった。他国の研究動向についても報告する。