[24p-D113-1~17] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

[24p-D113-7] [INVITED] Nuisance to high purity gases: water
–Accurate and precise measurement of trace moisture in gases–

〇Minami Amano¹ (1.AIST)

Keywords:gas analysis, trace moisture, humidity

高純度ガスが必要とされる半導体等の製造分野では、水は非常に厄介な不純物の1つとして知られている。本講演では、これまで行なってきた多種ガス中微量水分標準の研究を紹介する中で、モル分率1 ppb以下の乾燥ガス中残留水分や吸着/脱離水分の評価について述べる。近年、欧州諸国でも半導体材料ガス中微量水分の計測・標準に関するプロジェクトが始まった。他国の研究動向についても報告する。