[24p-D113-1~17] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

△ [24p-D113-8] Study on squeeze flow measurement method in nanometer-sized gap using fluorescence images of a single fluorescent molecule

〇(M2)Katsuki Miki¹, Naoki Azuma¹, Kenji Fukuzawa¹, Shintaro Itoh¹, Hedong Zhang¹ (1.Nagoya Univ.)

Keywords:Nanogap, Squeeze flow, Nano PIV

微細加工技術の発展により，マイクロ流体デバイスやMEMS内のすきまがマイクロからナノスケールへと狭小化している．一方で，ナノすきまに閉じ込められた流体の流れは，マクロ理論によって予測される流れと異なることがあり，ナノすきまの流体の流れ分布の計測法が必要である．本研究では，一分子の直径が数nmである量子ドットの蛍光像追跡によって，ナノすきまのスクイーズ流れ分布の定量計測を実現することを目的とした．