2022年第69回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

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[24p-D114-1~11] 8.3 プラズマナノテクノロジー

2022年3月24日(木) 13:00 〜 16:15 D114 (D114)

北嶋 武(防衛大)、田中 学(九大)

15:45 〜 16:00

[24p-D114-10] プラズマCVD法を用いたa-C:H薄膜製膜特性に対するガス圧力・基板位置の効果

〇(B)小野 晋次郎1、吉川 大智1、黄 成和1、奥村 賢直1、鎌滝 晋礼1、山下 尚人1、板垣 奈穂1、古閑 一憲1,2、白谷 正治1、呉 準席3、鷹林 将4、中谷 達行5 (1.九州大学、2.自然科学研究機構、3.大阪市立大学、4.有明高専、5.岡山理科大学)

キーワード:水素化アモルファスカーボン、カーボンナノ粒子