PDF ダウンロード スケジュール 8 いいね! 0 コメント (0) 15:45 〜 16:00 [24p-D114-10] プラズマCVD法を用いたa-C:H薄膜製膜特性に対するガス圧力・基板位置の効果 〇(B)小野 晋次郎1、吉川 大智1、黄 成和1、奥村 賢直1、鎌滝 晋礼1、山下 尚人1、板垣 奈穂1、古閑 一憲1,2、白谷 正治1、呉 準席3、鷹林 将4、中谷 達行5 (1.九州大学、2.自然科学研究機構、3.大阪市立大学、4.有明高専、5.岡山理科大学) キーワード:水素化アモルファスカーボン、カーボンナノ粒子