[24p-D316-1~11] 1.3 新技術・複合新領域

[24p-D316-1] [第22回業績賞（研究業績）受賞記念講演] MEMS技術の発展と産業展開への貢献

〇江刺 正喜¹ (1.東北大学)

キーワード：MEMS、センサ、マイクロシステム

集積回路に用いられる半導体微細加工に多様な技術を組み合わせた、MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) やマイクロシステムと呼ばれる技術は、センサのようなシステムの鍵を握る要素として使われている。半世紀ほど関わってきたMEMSに関して、特にパッケージングやLSIとの集積化、その産業展開について述べる。