16:15 〜 16:30
[24p-E103-11] レーザ結晶化(100)配向/無粒界Si薄膜へのMoコンタクト
キーワード:TFT、レーザ結晶化、結晶粒界
cwレーザ結晶化(100)配向/無粒界Si結晶領域に対するコンタクトパターンの位置と、Moコンタクト抵抗の関係につき議論する。
一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
16:15 〜 16:30
キーワード:TFT、レーザ結晶化、結晶粒界