2022年第69回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[24p-E103-1~17] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

2022年3月24日(木) 13:30 〜 18:00 E103 (E103)

呉 研(日大)、牧原 克典(名大)

16:15 〜 16:30

[24p-E103-11] レーザ結晶化(100)配向/無粒界Si薄膜へのMoコンタクト

〇佐々木 伸夫1,2、高山 智之2、浦岡 行治2 (1.Sasaki Consulting、2.奈良先端大)

キーワード:TFT、レーザ結晶化、結晶粒界

cwレーザ結晶化(100)配向/無粒界Si結晶領域に対するコンタクトパターンの位置と、Moコンタクト抵抗の関係につき議論する。