[24p-E106-1~18] 3.7 レーザープロセシング

[24p-E106-1] SiC上DLC膜におけるピコ秒レーザー誘起ナノ周期構造のパルス時間幅依存性

〇古市 健人¹、山本 健¹、土屋 叡本²、高橋 孝²、内海 慶春³、柴田 明宣⁴、山口 誠⁵、小林 洋平²、富田 卓朗¹ (1.徳島大、2.東大物性研、3.日本アイ・ティ・エフ(株)、4.日新電機(株)、5.秋田大)

キーワード：レーザ誘起ナノ周期構造、パルス時間幅依存性、ダイアモンドライクカーボン