[24p-E106-1~18] 3.7 レーザープロセシング

[24p-E106-12] GHzバーストモードフェムト秒レーザーパルスを用いたサファイアのLIPAA加工

〇小幡 孝太郎¹、川端 祥太^1,2、花田 修賢³、宮地 悟代²、杉岡 幸次¹ (1.理研 光量子、2.東京農工大、3.弘前大理工)

キーワード：GHzバーストモード、フェムト秒レーザー、アブレーション

数百 ps（~GHz）の極短い時間間隔のフェムト秒パルス列（イントラパルス列）を照射するGHzバーストモード加工は、従来のフェムト秒レーザー加工（シングルモード）より高品質な加工が可能である。本研究では、GHzバーストパルスで発生するプラズマをレーザー生成プラズマ支援アブレーション(LIPAA)加工に応用することにより、サファイア基板の高品質アブレーション加工を試みた。