[24p-E106-1~18] 3.7 レーザープロセシング

[24p-E106-14] 透明材料の超短パルス穴あけ加工におけるパルス強度ランプ変調の効果

〇吉富 大¹、高田 英行¹、小林 洋平²、奈良崎 愛子¹ (1.産総研、2.東大物性研)

キーワード：レーザー、レーザー加工、フェムト秒レーザー

レーザーパルス強度の高速変調によって、パルス間の相対強度を変化させることにより、超短パルス穴あけ加工を最適制御することをめざして、繰り返し1 MHzに対して、最大500 kHzまでの高速強度変調を可能にする装置を開発した。増加／減少ランプ変調した光パルスをシリカガラスとサファイアに照射したところ、加工量に変調による統計的有意差を確認した。初期破壊による加工閾値の低下に起因すると考えられる。