[24p-E106-1~18] 3.7 レーザープロセシング

[24p-E106-16] レーザー加工時におけるリアルタイム温度計測の試行

〇高田 英行¹、吉富 大¹、奈良崎 愛子¹ (1.産総研)

キーワード：レーザー加工、温度計測、超短パルスレーザー

我々は現在、非熱的加工を得意とする超短パルスレーザー加工における高精度のプロセス管理・品質管理の実現のために、加工点近傍での急激な温度変化に追従できる高速度・高位置分解能リアルタイム温度計測装置の開発を行っている。今回、我々が開発したパラメータ可変超短パルスレーザー加工装置に温度計測装置を実装、加工時温度のリアルタイム計測の試行を行ったので報告する。