[24p-E201-1~9] オンライン時代の機能性マテリアル　~beyond5G/6Gに向けて~

[24p-E201-7] 半導体MEMS共振器を用いた室温動作・高速・高感度テラヘルツ検出器

〇平川 一彦^1,2、張 亜³、邱 博奇¹、牛 天野¹、長井 奈緒美¹ (1.東大生研、2.東大ナノ量子機構、3.東京農工大)

キーワード：テラヘルツ、検出器、半導体ヘテロ構造

本講演では、テラヘルツ電磁波の吸収によるわずかな温度上昇を、半導体へテロ構造で作製したMEMS両持ち梁共振器の共振周波数シフトとして読み出す新しい原理のテラヘルツ検出器が、従来の室温動作熱型センサーと同等の感度を有しつつ、10〜100倍程度高速な検出ができることを紹介する。