[24p-E203-1~16] 23.1 Joint Session N "Informatics"

[24p-E203-11] Development of line-scanning reflection profile measurement system for crystal orientation estimation

〇Takuto Kojima¹, Kyoka Hara², Kentaro Kutsukake³, Tetsuya Matsumoto¹, Hiroaki Kudo¹, Noritaka Usami² (1.Grad. Info. Nagoya Univ., 2.Grad. Eng. Nagoya Univ., 3.AIP RIKEN)

Keywords:multicrystalline silicon, Crystallographic orientation

光学測定による多結晶組織の結晶方位推定のため，156 mm□を試料全領域について入射光方向と検出器方向を厳密に一定とするため線状光源とテレセントリックレンズを備えたラインカメラに対して試料ステージをスキャンさせる装置および，画像処理によって試料座標ごとの反射強度プロファイルを取得する手法の開発を行なった．