[24p-E203-1~16] 23.1 合同セッションN「インフォマティクス応用」

[24p-E203-11] 結晶方位推定のためのラインスキャン型反射特性測定装置の開発

〇小島 拓人¹、原 京花²、沓掛 健太朗³、松本 哲也¹、工藤 博章¹、宇佐美 徳隆² (1.名大院情報、2.名大院工、3.理研AIP)

キーワード：多結晶シリコン、結晶方位解析

光学測定による多結晶組織の結晶方位推定のため，156 mm□を試料全領域について入射光方向と検出器方向を厳密に一定とするため線状光源とテレセントリックレンズを備えたラインカメラに対して試料ステージをスキャンさせる装置および，画像処理によって試料座標ごとの反射強度プロファイルを取得する手法の開発を行なった．