[24p-E204-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

[24p-E204-1] GCIB援用蒸着法により作製したDLCの化学結合状態

〇大和田 佑¹、西山 昭雄²、吉川 亮太²、田口 純志²、小松 啓志¹、齊藤 信雄¹、齋藤 秀俊¹ (1.長岡技科大工、2.野村鍍金)

キーワード：GCIB援用蒸着法、ダイヤモンドライクカーボン、軟X線発光分光法

ガスクラスターイオンビーム（GCIB）援用蒸着法を用いてダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜の製膜を行った。深さ方向に対する元素分布測定にグロー放電発光分析（GD-OES）を、DLC膜のsp³結合炭素及びsp²結合炭素の状態を軟X線発光分光法（SXES）を用いて測定し、製膜条件による変化を考察した。