[24p-E302-1~16] CS.9 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価、15.6 IV族系化合物（SiC）のコードシェアセッション

[24p-E302-13] 4H-SiC(0001)トレンチMOSFETへの機械的応力による移動度変化

〇彦坂 直利¹、籠島 瑛二²、柴山 茂久³、坂下 満男³、富田 英幹²、西脇 剛²、藤原 広和²、中塚 理³、竹内 和歌奈¹ (1.愛工大工、2.ミライズテクノロジーズ、3.名大院工)

キーワード：4H-SiC