[24p-E304-1~10] 二次元材料を集積回路に！

[24p-E304-3] 二次元材料成膜・形成および機能発現評価の課題

〇吹留 博一¹ (1.東北大通研)

キーワード：成長、微細加工基板、オペランド・ナノX線分光

IRDS roadmapによる提言により、二次元原子薄膜の集積回路への導入が真剣に検討され始めている。二次元原子薄膜の導入においては、課題が山積している。本発表では、その中でも、集積回路応用に適した二次元原子薄膜の成膜、また、二次元原子薄膜をデバイス化した際に顕著となる界面相互作用について述べたい。