[24p-F308-1~11] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.5 イオンビーム一般のコードシェアセッション

[24p-F308-2] ガスクラスターイオンを用いたSiO₂エッチングの吸着ガス種依存性

〇藤原 怜輝¹、竹内 雅耶¹、豊田 紀章¹ (1.兵庫県大工)

キーワード：原子層エッチング、ガスクラスターイオンビーム