[24p-F308-1~11] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.5 イオンビーム一般のコードシェアセッション

△ [24p-F308-5] c軸傾斜反転ScAlN薄膜を用いた
ブラッグ反射器型圧電トランス

〇(B)白岩 和剛^1,2、佐藤 裕友^1,2、関 崚^1,2、柳谷 隆彦^1,2,3 (1.早大先進理工、2.材研、3.JST-CREST)

キーワード：レクテナ、ScAlN、圧電体

ワイヤレス給電では、レクテナと呼ばれるアンテナとダイオードからなる素子を用いてRF-DC変換を行う。しかし、送信器から離れた微弱な強度の電波供給では、ダイオードの閾値電圧を越えることができず、レクテナを効率よく駆動させることができない。本研究では、音響ブラッグ反射器上にジグザグに配向させたScAlN圧電薄膜を堆積させた圧電トランスを提案する。