[24p-F408-1~11] 9.2 Nanoparticles, Nanowires and Nanosheets

[24p-F408-5] Dot Size Dependence of Electron Emission from Si-QDs Multiple-Stacked Structures

〇(M1)Shuji Obayashi¹, Katsunori Makihara¹, Noriyuki Taoka¹, Akio Ohta¹, Seiichi Miyazaki¹ (1.Nagoya Univ.)

Keywords:semiconductor, quantum dots

SiH₄-LPCVDの精密制御により異なるサイズのSi量子ドットを形成し、ドットサイズがSi量子ドット多重集積構造からの電界電子放出特性に及ぼす影響を評価した。