[24p-P02-1~14] 12.2 評価・基礎物性

[24p-P02-7] イオンアシスト蒸着法を用いた剥離表面の検討

〇矢野 宏和¹、臼井 博明² (1.リンテック、2.東京農工大)

キーワード：薄膜、蒸着