[24p-P07-1~7] 3.9 テラヘルツ全般

[24p-P07-3] GaAs MEMS梁共振器構造における内部モード間結合係数の測定

〇福田 喬治¹、諸橋 功²、平川 一彦^3,4、張 亜¹ (1.農工大工、2.情報通信研究機構、3.東大生研、4.東大ナノ量子機構)

キーワード：MEMS、モード間結合、結合係数