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[24p-P10-1] Cat-CVD SiNx膜を表面に有するp型結晶Si太陽電池セルモジュールの電圧誘起劣化
キーワード:電圧誘起劣化、SiNx 膜
Cat-CVDで屈折率の異なるSiNxを製膜したp型セルモジュールの電圧誘起劣化挙動を調査した。6時間のPID試験前後の1 sun光照射下でのJ–V特性を測定したところ、今回の試料では、SiNxの屈折率増大とともにFFのより大きな低下がみられた。これは、一般的な傾向と異なっており、SiNxの屈折率以外の膜物性がNa侵入やPID挙動に影響を及ぼしている可能性を示唆する。