[25a-D114-1~7] 15.5 Group IV crystals and alloys

[25a-D114-4] Automated Analysis of Crystal Growth Properties using Machine Learning

〇Takamitsu Ishiyama¹, Toshifumi Imajo¹, Takashi Suemasu¹, Kaoru Toko¹ (1.Univ. of Tsukuba)

Keywords:machine learning, crystal growth, image recognition

非晶質膜が結晶成長する過程を理解して制御するには、核発生頻度や結晶化速度、そして活性化エ ネルギーや頻度因子を知ることが重要となる。これらの値は通常、人の手で「熱処理→観察→計算」を繰り返すことによって導出されてきた。しかし、この方法は膨大な時間と労力を要し、また、測定者ごとの系統誤差が生じやすい。そこで本研究では、Ge 膜の固相成長を例とし、その場観察熱処理装置と機械学習を併用した結晶成長過程の高速かつ客観的な解析手法を提案する。