[25a-E204-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

[25a-E204-10] ヘテロエピタキシャルダイヤモンド成長における基板反り変形の観察

〇木村 豊¹、伊原 隆宏²、尾島 拓海²、田中 日菜²、大島 龍司^2,3、澤邊 厚仁¹、會田 英雄² (1.青学大、2.長岡技科大、3.ディスコ)

キーワード：ヘテロエピタキシャルダイヤモンド、曲率

ヘテロエピタキシャルダイヤモンド成長におけるダイヤモンド薄膜の曲率と膜厚の関係について