[25a-E301-1~9] CS.9 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価、15.6 IV族系化合物（SiC）のコードシェアセッション

[25a-E301-1] 基底・励起準位同時共鳴を用いたシリコン空孔量子センサ温度計測高感度化

〇山崎 雄一¹、増山 雄太¹、児島 一聡²、土田 秀一³、星乃 紀博³、大島 武¹ (1.量研、2.産総研、3.電中研)

キーワード：炭化ケイ素、シリコン空孔、同時共鳴

基底/励起準位同時共鳴で基底準位ODMRコントラストが減少する現象を利用して、その変化から励起準位共鳴周波数を求める新規温度計測方法。従来法で測定した場合と比較して、大きな信号変化が得られるため、高感度な測定が可能となる。