[25a-E301-1~9] CS.9 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価、15.6 IV族系化合物（SiC）のコードシェアセッション

[25a-E301-6] 軟X線発光分光によるSiC結晶中窒素濃度の評価

〇川西 咲子¹ (1.東北大多元研)

キーワード：SiC、窒素、軟X線発光分光

SiC結晶中の窒素濃度の評価にあたり、FE-EPMAに付属の軟X線発光分光器による測定を検討した。2×10¹⁹ cm^-3以上の窒素濃度の定量評価が可能であることがわかった。発表では、本測定法での利点について整理した結果も述べる。